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表面與薄膜處理技術(第五版)

表面與薄膜處理技術(第五版)

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9786263284234
柯賢文?
全華圖書
2023年3月17日
163.00  元
HK$ 154.85  






ISBN:9786263284234
  • 叢書系列:大專機械
  • 規格:平裝 / 464頁 / 15.9 x 17.8 x 2.32 cm / 普通級 / 單色印刷 / 五版
  • 出版地:台灣
    大專機械


  • 專業/教科書/政府出版品 > 工程類 > 機械工程











      固體材料的表面問題既已發展成一非常多樣化的科技,很多出版的參考書籍以專題深入探討或以工具書出現,不易為初學者所接受,也不適宜當教材之用。因此作者就重要的問題分成十二章討論。這十二章的結構實際上可以看成五個部份,第一部份為基礎篇,這些都是乾式氣相表面處理最常面臨的技術。第二部份為氣相技術篇,乃常見的乾式氣相表面處理技術。第三部份為液相技術篇,亦即最傳統的表面處理技術,包括無極鍍、化成、取代及電鍍和電鑄,陽極處理實際上相等於電化學反應的化成作用。第四部份為薄膜篇,包括薄膜的成長及微結構、薄膜的特性及量測。第五部份為前瞻篇,它們已脫離常見表面技術的章節,其中有微機電系統、奈米技術及表面的物理化學性質。本書適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。



    本書特色



      1.固體材料的表面問題已發展成一非常多樣化的科技,本書內容以深入淺出的方式表達,使其成為最適宜的教材。



      2.作者就重要問題分成十二章討論,共分為五大部分為;基礎篇、氣相技術篇、液相技術篇、薄膜篇與前瞻篇,內容精選,整理完善。



      3.適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。


     





    第1章 緒 論

    一、表面處理的意義

    二、表面處理的應用

    三、表面處理的分類

    四、技術選用考量因素

    五、結 語



    第2章 基本設備

    一、溫度的量測

    二、真空系統



    第3章 認識電漿

    一、電漿的產生

    二、電漿的特性

    三、電漿的化學反應

    四、電漿在表面技術上的應用



    第4章 物理蒸鍍

    一、熱力學

    二、氣體動力學

    三、蒸 鍍

    四、蒸鍍設備

    五、合金蒸鍍

    六、化合物蒸鍍

    七、應 用



    第5章 濺射鍍膜

    一、前 言

    二、粒子的撞擊

    三、動能的轉移

    四、撞擊效應

    五、濺射的方法

    六、濺射係數

    七、濺射鍍膜技術

    八、靶 材

    九、濺鍍和熱蒸鍍的比較

    十、應 用



    第6章 化學氣相蒸鍍

    一、前 言

    二、化學問題

    三、熱力學的問題

    四、化學動力學的問題

    五、CVD設備及系統

    六、應 用



    第7章 液相表面處理

    一、前 言

    二、前處理

    三、無極電鍍

    四、取代反應

    五、化成被覆

    六、電 鍍

    七、陽極處理

    八、電 鑄

    九、廢水處理



    第8章 薄膜的成長及微結構

    一、前 言

    二、表面前清理

    三、薄膜的成長

    四、微結構

    五、磊 晶



    第9章 薄膜特性及量測

    一、前 言

    二、厚 度

    三、薄膜特性

    四、表面分析儀器

    五、其他表面分析儀器



    第10章 表面蝕刻及微機電系統

    一、圖樣化及蝕刻

    二、微機電系統

    三、矽製程



    第11章 奈米技術

    一、奈米材料

    二、奈米科技發展史

    三、奈米合成和表面技術

    四、奈米材料之特徵

    五、奈米材料之應用

    六、結 語



    第12章 表面的物理化學性質

    一、前 言

    二、表面張力

    三、電 濕

    四、L-B薄膜

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    其 他 著 作